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佛山清溢微电子有限公司高端半导体掩膜版生产基地建设项目阶段性（一期）
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0118MAC408KX1M | 建设单位法人：唐英敏 |
| 焦陨玉 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **市**区丹灶镇**路6号地块 |
建设项目基本信息
| ****高端****基地建设项目阶段性（一期） | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:112.881944 纬度: 23.023889 | ****机关：****环境局**分局 |
| 环评批复时间： | 2025-08-25 |
| 佛环南审〔2025〕123号 | 本工程排污许可证编号：****0118MAC408KX1M001W |
| 2026-06-30 | 项目实际总投资(万元)：187500 |
| 1700 | 运营单位名称：**** |
| ****0118MAC408KX1M | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0118MAC408KX1M | 验收监测单位：**省****公司 |
| 914********4580691 | 竣工时间：2026-07-25 |
| 调试结束时间： | |
| 2026-09-29 | 验收报告公开结束时间：2026-10-30 |
| 验收报告公开载体： | http://www.****.com/forum.php?mod=viewthread tid=****370 page=1#pid****420 |
2、工程变动信息
项目性质
| 项目属于**（含技改），行业类别为C3973集成电路制造，主要进行半导体掩膜版的生产制造。 | 实际建设情况：实际与环评审批一致 |
| 项目性质未发生变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| 全厂审批产能为年产掩膜版26600张/年（其中二元掩膜版23533张/年，相移掩膜版3067张/年）。 | 实际建设情况：实际建成规模为年产掩膜版21280张/年（其中二元掩膜版18826张/年，相移掩膜版2454张/年），实际产能为审批全厂规模的80%。部分生产设备暂未建成，原辅材料实际用量低于审批量。 |
| 因企业生产计划分期实施及市场需求调整，实际产能低于审批规模，未超出环评批复产能；部分设备暂未安装，后续根据产能需求逐步配置。实际生产规模未增大，污染物排放量未增加。 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 二元掩膜版主要工艺：曝光→显影→湿法蚀刻→脱胶清洗→测量检查→修补→仿真测试→Final清洗→贴膜； 相移掩膜版主要工艺：曝光→部分烘干→显影→清洗→干法蚀刻→涂胶→测量检查→缺陷修补→模拟仿真→贴膜。 | 实际建设情况：实际生产工艺与环评一致。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 含铬废水电解+化学沉淀，综合废水芬顿+混凝沉淀；废气酸/碱喷淋+活性炭吸附；危废交资质单位处置等。 | 实际建设情况：废水、废气、噪声、固废等治理设施均已落实，与环评基本一致，未弱化或降低。 |
| 处理工艺未变，处理效率未降低。危废仍委托有资质单位处置。 | 是否属于重大变动：|
其他
| / | 实际建设情况：/ |
| / | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 172843 | 216053.5 | 0 | 0 | 172843 | 172843 | |
| 0 | 6.914 | 8.7081 | 0 | 0 | 6.914 | 6.914 | |
| 0 | 0.864 | 1.0885 | 0 | 0 | 0.864 | 0.864 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0114 | 0.112 | 0 | 0 | 0.011 | 0.011 | / |
| 0 | 0.0808 | 0.0384 | 0 | 0 | 0.081 | 0.081 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0006 | 0.03 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准（总铬≤0.5mg/L、六价铬≤0.1mg/L） | 已建成并投入运行，采用“电解法+化学沉淀法”工艺，设置车间排放口WS-107855-1 | 根据检测报告（H****00501-1），车间排口总铬、六价铬均未检出或低于从严限值 | |
| 2 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标****处理厂进水标准较严值 | 已建成并投入运行，采用“芬顿氧化+混凝沉淀”工艺，设置总排口WS-107855-2；生活污水经三级化粪池预处理，排口WS-107855-3 | 根据检测报告（H****00501-1），总排口各污染物及生活污水各项指标均达标 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 显影、碱洗废气处理设施-酸液喷淋塔（DA001排气筒） | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准限值 | 已建成，密闭负压收集，采用酸喷淋，经24m高排气筒排放 | 氨、臭气浓度均满足标准限值 | |
| 2 | 酸洗及干法蚀刻废气处理设施-碱液喷淋塔（DA002排气筒） | **省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准 | 已建成，酸洗废气与干法蚀刻废气共用1#、2#碱液喷淋塔，经25m高排气筒排放 | 硫酸雾、氯化氢、氟化物达标；氯气、铬酸雾、二氧化硫未检出 | |
| 3 | 锅炉燃烧废气-3#排气筒（28m） | 《锅炉大气污染物排放标准》（DB44/765-2019）表3特别排放限值及表2要求 | 使用天然气，低氮燃烧，经28m高排气筒排放。 | 颗粒物、氮氧化物、二氧化硫、林格曼黑度均达标 | |
| 4 | 有机废气治理设施 -二级活性炭吸附装置（DA004排气筒） | 《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1 | 涂胶烘干废气经活性炭吸附后24m排放 | 非甲烷总烃达标 | |
| 5 | 备用发电机DA005排气筒 | **省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级 | 发电机废气经15m排放 | 发电机颗粒物、氮氧化物、二氧化硫达标 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 减震、隔声、消声设施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准 | 选用低噪声设备，设备底座减震，厂房墙体隔声。西、北厂界与邻厂共墙 | 东、南厂界昼夜间噪声均满足标准 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 厂区实行分区防渗；重点防渗区（危废间、污水站、化学品仓等）防渗层等效黏土Mb≥6.0m，K≤1×10-7cm/s；一般防渗区Mb≥1.5m。 | 已严格落实分区防渗，车间地面已硬底化处理。危废暂存间设置了围堰及防渗层。 |
表5 固废治理设施
| 1 | 危险废物交有资质单位处置；一般固废综合利用；生活垃圾交环卫清运。设置符合规范的危废暂存间和一般固废间。 | 已设置独立的危废暂存间（60m2）和一般固废暂存间，已与**市新****公司、中机科技发****公司等签订危废处置合同，执行转移联单制度。 |
表6 生态保护设施
| 1 | 项目用地范围内无生态环境保护目标，做好厂区绿化。 | 项目位于工业用地，无生态保护目标。厂区已落实地面硬化和绿化。 |
表7 风险设施
| 1 | 项目方必须制订并落实有效的环境风险防范措施和应急预案，建立健全环境事故应急体系，制订严格的规章制度，加强生产、污染防治设施和管理和维护，减少污染物排放。 | ****生态环境局**分局提交了《****突发环境事件应急预案备案表》，并通过审核备案，备案编号为440605-2026-0123-L。项目组建了针对环境污****小组，由建设单位主管领导任总指挥，明确了应急预案的使用范围和工作程序，规定了潜在危险品储存管理及风险防范和事故应急措施，项目基本具备了处理环境风险事故的能力，各项设施和设备按照相关要求基本落实。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 项目生产废水****处理厂集中处理；厂区公用工程（给水、供电、动力中心等）及部分环保设施依托原有厂区/一期工程 | 验收阶段落实情况：项目生产废水及生活污水经预处理达标后排入市政管网，****处理厂集中处理，已取****处理厂依托可行性论证；厂内公用工程及环保治理设施已按环评要求同步建成并运行 |
| / |
环保搬迁
| 本项目不涉及环保搬迁 | 验收阶段落实情况：本项目不涉及环保搬迁，未发生搬迁情况 |
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区域削减
| 本项目新增VOCs排放量按“减二增一”原则从丹灶镇挥发性有机物排放储备量中划拨；新增水污染物总量指标按要求通过排污权交易取得 | 验收阶段落实情况：建设单位已按规定完成排污权交易（取得化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物鉴证书），VOCs总量指标已由属地生态环境部门统筹划拨，相关总量指标均已落实 |
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生态恢复、补偿或管理
| 项目用地范围内无生态环境保护目标，无需开展生态恢复或补偿 | 验收阶段落实情况：项目位于工业用地，占地范围内无生态保护目标，厂区落实了地面硬化和绿化 |
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功能置换
| 本项目不涉及功能置换 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
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其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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