广东省能源局关于12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目（四期项目）项目节能报告的审查意见

粤能许可〔2026〕86号

**市发展改革委，**粤芯四期****公司：

《12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目节能报告》收悉。根据《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》****委员会令〔2025〕第31号）、《**省固定资产投资项目节能审查和碳排放评价实施办法》（粤发改规〔2026〕9号）的相关要求，我局对该项目节能报告进行了审查，审查意见如下：
一、项目采用的主要技术标准和建设方案基本符合国家和省相关节能法规及节能降碳政策的要求，原则同意该项目节能报告。
二、项目位于**省**市**区**镇，总投资约252亿元，项目拟竣工时间2027年7月。项目主要建设12英寸晶圆生产线。项目建成后年产12英寸晶圆48万片。
三、用能工艺：芯片制造工艺是采用半导体平面工艺的方法在衬底硅片上形成电路图形的生产过程，包含四大步骤，成膜工艺、图形转移工艺、功能实现工艺、检测工艺。主要用能工序包括光刻、刻蚀、化学机械抛光、物理/化学气相沉积、离子注入、扩散、湿法刻蚀、检测。
四、用能设备。
（一）主要设备。5台步进式光刻机（功率138.4千瓦），2台深紫外光刻机（功率246.8千瓦），5台步进式光刻机配套涂胶显影机（功率180.1千瓦），3台通孔刻蚀设备（功率443.1千瓦），2台12英寸硅刻蚀机（功率549.4千瓦），3台电介质刻蚀设备（功率353.1千瓦），5台阻挡层 种子层沉积设备（功率598.5千瓦），5台钨物理气相沉积设备（功率626.4千瓦），1台12寸晶圆刷片机（功率1554.8千瓦），10台氧化热处理退火炉管（功率265.5千瓦），3台12寸晶圆清洗机（功率1060.1千瓦）。
（二）辅助设备。16台冷水机组（4台功率930千瓦、制冷量5275千瓦、制冷效率8.5，1级能效；12台功率1550千瓦、制冷量9847千瓦、制冷效率8.5，1级能效），80台干式变压器（4台容量6300千伏安，空载损耗7.92千瓦、负载损耗39.300千瓦；28台容量2500千伏安，空载损耗3.100千瓦、负载损耗18.600千瓦，1级能效；22台容量2000千伏安，空载损耗2.590千瓦、负载损耗15.800千瓦，1级能效；24台容量1600千伏安，空载损耗2.230千瓦、负载损耗13.300千瓦，1级能效；2台容量1250千伏安，空载损耗1.605千瓦、负载损耗10.350千瓦，1级能效），以及风机、水泵、空调、照明和环保处理设施等辅助设备。
五、计量器具：项目主要对电、天然气、水进行能源计量器具配备。项目外购能源**进入厂区时进行一级计量，各楼栋、车间设置二级计量，电、水实现三级计量。
六、项目建成后能源消费和碳排放主要指标。
项目年综合能源消费量不高于66708.62吨标准煤，其中年电力消耗量不高于52710.71万千瓦时、天然气消耗量不高于153.40万立方米、柴油消耗量不高于14.00吨。项目12寸晶圆单位产品综合能耗不高于1.55千瓦时/平方厘米。
项目年直接碳排放不高于3179.64吨，间接碳排放不高于232472.85吨，合计碳排放不高于235652.49吨；12寸晶圆单位产品碳排放量不高于6.73吨二氧化碳/万平方厘米，单位增加值碳排放不高于0.7899吨二氧化碳/万元。
七、项目在落实节能报告各项节能降碳措施基础上，应加强和改进以下节能降碳工作：
（一）工艺节能降碳。
1.优化机台待机模式，合理安排机台空转时间。
2.加强加热设备的保温措施，减少空调能耗。
3.湿法去胶、刻蚀等加药工序，采用先进的吹脱工艺，减少废水中废液携带量，减少后端的废水处理电耗成本。
（二）辅助及附属生产设施节能降碳
1.项目辅助用能设备的能效水平满足相关标准二级能效以上要求。
2.选用低损耗节能型电力变压器，合理选配装机容量，使之在经济负荷率范围内运行；按生产区域、****中心设置供配电点，以就近供电；就地进行无功补偿，使功率因数在0.95以上。
3.电气照明选择合理的照度标准，严格控制照明功率密度值；选用高效LED节能灯具，充分利用自然光和太阳能光源。
（三）能源计量和管理。
1.根据《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17167-2025）等规范，健全能源计量、监测管理制度，建立能源计量管理体系。
2.配备的电、天然气及水等介质的计量器具，精度要符合《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17167-2025）要求。
3.按照《重点用能单位节能管理办法》（2018年修订）相关要求接入全省能耗在线监测系统，定期报送能源利用状况和碳排放情况报告。
（四）其他要求。
1.依托建筑物屋顶开展分布式光伏发电项目建设，总装机容量力争不低于1.54MW。
2.项目建成投产后，应认真执行国家、省节能降碳政策要求，积极开展节能降碳技术改造，并综合采取碳排放配额交易、项目碳排放等量替代等措施减少项目碳排放。
3.项目应优先选用能效碳效标准领先的产品和设备，将能效碳效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同，不得使用国家明令禁止和淘汰的落后工艺及设备。
4.加强能源和碳排放管理，对企业能耗、碳排放进行实时记录、监测和分析。
八、项目建设单位、建设地点、建设规模、主要生产装置、用能设备、工艺技术路线、主要产品品种及其他方面较节能报告、节能审查意见等发生重大变化的，请按照《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》****委员会令〔2025〕第31号）第十八条规定执行。
九、请**粤芯四期****公司根据本审查意见和项目节能报告，对项目设计、施工、竣工验收以及运营加强管理，及时报告本审查意见落实情况和项目有关重大事项。我局按规定组织开展对节能审查意见落实情况的跟踪检查。
十、项目投入生产、使用前，**粤芯四期****公司组织对项目节能降碳相关情况进行验收，并将验收报告报我局和**市发展改革委留存。未按规定进行节能审查验收或验收不合格擅自投入生产、使用的，以及以提供虚假材料等不正当手段通过节能审查验收的，责令限期整改。
十一、请**市发展改革委积极推进重点用能单位节能降碳改造工作，加强用能与碳排放预算精细化管理，为**市后续新增耗能项目建设腾出能耗与碳排放空间。
十二、本节能审查意见自印发之日起两年内有效，项目逾期未开工建设的，应重新进行节能审查和碳排放评价。